发明名称 MANUFACTURING FOR SEMICONDUCTOR LASER
摘要
申请公布号 JPH05121836(A) 申请公布日期 1993.05.18
申请号 JP19910278153 申请日期 1991.10.25
申请人 SHIMADZU CORP 发明人 HASHIMOTO TOYOYUKI
分类号 H01L21/205;H01S5/00;H01S5/042 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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