发明名称 ANALYZING METHOD FOR TROUBLE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05121500(A) 申请公布日期 1993.05.18
申请号 JP19910281063 申请日期 1991.10.28
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 YAMASHITA HIROSHI
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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