发明名称 CLEANING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05121385(A) 申请公布日期 1993.05.18
申请号 JP19910309877 申请日期 1991.10.28
申请人 SHARP CORP 发明人 KOBAYASHI KAZUKI;OKETANI HIROI;ASANO HIROMITSU
分类号 H01L21/304;H05K3/26 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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