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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05121319(A) 申请公布日期 1993.05.18
申请号 JP19910139688 申请日期 1991.05.15
申请人 MITSUBISHI MATERIALS CORP;MITSUBISHI MATERIALS SHILICON CORP 发明人 HONDA HIDEMI;HIROTA SHIGEYA
分类号 H01L21/20;C30B15/00;C30B29/06;H01L21/322 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
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