| 发明名称 |
TREATING TANK FOR ETCHING AND THE LIKE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH05121392(A) |
申请公布日期 |
1993.05.18 |
| 申请号 |
JP19910309878 |
申请日期 |
1991.10.28 |
| 申请人 |
SHARP CORP |
发明人 |
ASANO HIROMITSU;TARUI TETSUYA;KOBAYASHI KAZUKI |
| 分类号 |
B01D35/02;C23F1/08;H01L21/306;H05K3/06 |
主分类号 |
B01D35/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
