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经营范围
发明名称
METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH05121752(A)
申请公布日期
1993.05.18
申请号
JP19910284348
申请日期
1991.10.30
申请人
SEIKO EPSON CORP
发明人
MARUO YUTAKA
分类号
H01L21/8247;H01L29/788;H01L29/792
主分类号
H01L21/8247
代理机构
代理人
主权项
地址
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