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发明名称 TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH05121306(A) 申请公布日期 1993.05.18
申请号 JP19910309811 申请日期 1991.10.29
申请人 TOKYO ELECTRON LTD;TOKYO ELECTRON KYUSHU KK 发明人 HAMADA TOMOKO
分类号 B05C9/10;B05C11/08;G03F7/11;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 B05C9/10
代理机构 代理人
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