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发明名称 NIOBIC LIQUID METALLIC ION SOURCE
摘要
申请公布号 JPH05121037(A) 申请公布日期 1993.05.18
申请号 JP19910279160 申请日期 1991.10.25
申请人 SHIMADZU CORP 发明人 NAGAMACHI SHINJI
分类号 H01J27/22;H01J37/08;H01J49/10 主分类号 H01J27/22
代理机构 代理人
主权项
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