发明名称 DEVICE TO CARRY OUT PROCESSING BY IRRADIATING PARTICLE TO SAMPLE
摘要
申请公布号 JPH05121026(A) 申请公布日期 1993.05.18
申请号 JP19910311904 申请日期 1991.10.30
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 INADA HIROSHI;IIYAMA MICHITOMO
分类号 H01J37/09;H01J37/30 主分类号 H01J37/09
代理机构 代理人
主权项
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