METODO PARA TRATAR SUPERFICIES DE SUSTRATOS CON AYUDA DE UN PLASMA Y UN REACTOR PARA REALIZAR EL METODO.

摘要

UN METODO PARA TRATAR SUPERFICIES DE SUBSTRATOS (POR EJEMPLO GRABADO Y DEPOSICION), UTILIZANDO UN PLASMA. EN LA PRACTICA EL PLASMA FLUYE DE SU FUENTE (13) A UNA CAMARA DE TRATAMIENTO. LA FUENTE DE PLASMA SE FLUYE PRIMERO CON UN GAS FLUYENTE, Y CUANDO ESTE HA ALCANZADO LOS CATODOS (6) SE ALIMENTA EL GAS REACTIVO AL GENERADOR DE PLASMA. TAMBIEN SE DESCRIBE EL REACTOR UTILIZADO EN ESTE PROCEDIMIENTO.