| 发明名称 |
ENTFERNUNG VON OBERFLAECHEN-VERSEUCHUNGEN DURCH AUSSTRAHLUNG AUS EINER HOCH-ENERGIEQUELLE. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT88923(T) |
申请公布日期 |
1993.05.15 |
| 申请号 |
AT19890112319T |
申请日期 |
1989.07.06 |
| 申请人 |
CAULDRON LIMITED PARTNERSHIP |
发明人 |
ENGELSBERG, AUDREY C. |
| 分类号 |
B08B7/00;H01L21/268;(IPC1-7):B08B7/00 |
主分类号 |
B08B7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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