| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR PRODUCTION FURNACE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05117082(A) |
申请公布日期 |
1993.05.14 |
| 申请号 |
JP19910218841 |
申请日期 |
1991.08.29 |
| 申请人 |
MITSUBISHI MATERIALS CORP |
发明人 |
UMEHARA MIZUHIRO;HAIJIMA KAZUO |
| 分类号 |
C30B27/00;C30B27/02;C30B29/42;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B27/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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