发明名称 SCANNING TYPE PROBE MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH05118843(A) 申请公布日期 1993.05.14
申请号 JP19910282962 申请日期 1991.10.29
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO LTD 发明人 ARAMAKI SHINJI;YAMAMOTO MITSUNORI
分类号 G01B7/34;G01B21/30;G01Q10/02;G01Q10/04;G01Q30/00;G01Q30/02 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
主权项
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