| 发明名称 |
GAS SUPPLYING DEVICE FOR MULTI-STAGE VACUUM PUMP |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05118286(A) |
申请公布日期 |
1993.05.14 |
| 申请号 |
JP19910254681 |
申请日期 |
1991.09.05 |
| 申请人 |
EBARA CORP |
发明人 |
WATANABE YASUHIRO;OGAMINO HIROAKI;MURAKAMI SEIGO;USUI KATSUAKI |
| 分类号 |
F04C18/18;F04C23/00;F04C25/02;F04C28/02;F04C29/00;F04C29/12 |
主分类号 |
F04C18/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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