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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR PRODUCING SILICON OXIDE FILM
摘要
申请公布号 JPH05117867(A) 申请公布日期 1993.05.14
申请号 JP19920005249 申请日期 1992.01.16
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 SHIMIZU AKIO;TSUJI NAOTO
分类号 C23C16/50;C23C16/40;C23C16/511;C23C16/517;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/316;H05H1/16 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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