| 发明名称 |
INTERFEROMETER FOR TILT INTERFEROGRAM ENABLING DISCRIMINATION OF INDENTATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05118809(A) |
申请公布日期 |
1993.05.14 |
| 申请号 |
JP19910304218 |
申请日期 |
1991.10.23 |
| 申请人 |
AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL |
发明人 |
TENJINBAYASHI KOUJI |
| 分类号 |
G01B9/02;G01B11/24;G01M11/00 |
主分类号 |
G01B9/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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