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经营范围
发明名称
CVD DEVICE
摘要
申请公布号
JPH05117864(A)
申请公布日期
1993.05.14
申请号
JP19910153427
申请日期
1991.06.25
申请人
ANELVA CORP
发明人
KOBAYASHI TSUKASA
分类号
C23C16/44;C23C16/455;H01L21/28;H01L21/285
主分类号
C23C16/44
代理机构
代理人
主权项
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