发明名称 CVD FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05117860(A) 申请公布日期 1993.05.14
申请号 JP19910284289 申请日期 1991.10.30
申请人 SHIMADZU CORP 发明人 ITOI HIROTO
分类号 C23C16/44;C23C16/455;C30B25/14;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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