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发明名称 THIN FILM FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH05117843(A) 申请公布日期 1993.05.14
申请号 JP19910309654 申请日期 1991.10.28
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 INAI YUTAKA;INAMI HIROSHI;MATSUDA YASUHIRO;FUJIWARA SHUICHI;YAMASHITA TAKATOSHI;MATSUNAGA KOJI
分类号 C23C14/22;C23C14/48 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人
主权项
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