| 发明名称 |
ZERSTAEUBUNGSVERFAHREN MITTELS EINES BANDFOERMIGEN PLASMAFLUSSES UND GERAET ZUR HANDHABUNG DIESES VERFAHRENS. |
| 摘要 |
High-efficiency sheet plasma sputtering method comprises deforming an arc plasma stream into sheet form using a magnetic field; and accelerating ions in the sheet plasma to a target of negative potential to cause sputtering of the target and deposition of the sputtered particles on a substrate.
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| 申请公布号 |
DE3880135(D1) |
申请公布日期 |
1993.05.13 |
| 申请号 |
DE19883880135 |
申请日期 |
1988.09.08 |
| 申请人 |
URAMOTO JOSHIN;ASAHI GLASS CO LTD |
发明人 |
URAMOTO JOSHIN;SUZUKI KOICHI;OYAMA TAKUJI;KOJIMA HIROYASU |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C14/35;C23C14/46;H01J37/34;H01L21/203;H01L21/285;H05H1/50;(IPC1-7):H01J37/34;C23C14/42 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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