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发明名称 REACTIVE GAS FOR PLASMA ASSISTED CHEMICAL ETCHING AND METHODS FOR STABLE PLASMA ETCHING OF SUBSTRATES OVER EDGES
摘要
申请公布号 IL104268(D0) 申请公布日期 1993.05.13
申请号 IL19920104268 申请日期 1992.12.29
申请人 HUGHES AIRCRAFT COMPANY 发明人
分类号 C23F4/00;H01L21/306;H01L21/3065;(IPC1-7):G01N/ 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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