| 发明名称 |
SOL-GEL PROCESSING OF PIEZOELECTRIC AND FERROELECTRIC FILMS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0489519(A3) |
申请公布日期 |
1993.05.12 |
| 申请号 |
EP19910310761 |
申请日期 |
1991.11.21 |
| 申请人 |
RAYTHEON COMPANY |
发明人 |
BERNSTEIN, STEVEN D.;WAHL, JOSEPH MATTHEW |
| 分类号 |
C01G25/00;C01B13/32;C30B28/00;C30B29/32;H01B3/00;H01L21/02;H01L21/314;H01L21/316;H01L41/24;(IPC1-7):H01L21/314 |
主分类号 |
C01G25/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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