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发明名称 RESIST COMPOSITION
摘要
申请公布号 JPH05113666(A) 申请公布日期 1993.05.07
申请号 JP19910301054 申请日期 1991.10.21
申请人 NIPPON ZEON CO LTD 发明人 OIE MASAYUKI;TANAKA HIDEYUKI;ABE NOBUNORI
分类号 G03F7/004;G03F7/023;G03F7/029;G03F7/038;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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