发明名称 INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND MANUFACTURE, PROCESSING EQUIPMENT AND PACKING CASE THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH05114670(A) 申请公布日期 1993.05.07
申请号 JP19910207755 申请日期 1991.08.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NAGASAWA MASAKI
分类号 B29C45/26;H01L21/56;H01L23/28;H01L23/50;H05K3/34 主分类号 B29C45/26
代理机构 代理人
主权项
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