| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH05114580(A) |
申请公布日期 |
1993.05.07 |
| 申请号 |
JP19910247623 |
申请日期 |
1991.09.26 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD |
发明人 |
OJIRI HIDEHIRO;KATO YOSHIAKI |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
