发明名称 ELECTRON BEAM EXPOSURE DEVICE AND METHOD OF CONTROLLING ELECTRON BEAM
摘要
申请公布号 JPH05114376(A) 申请公布日期 1993.05.07
申请号 JP19910275821 申请日期 1991.10.23
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NISHIMURA ISAO
分类号 G03F7/20;G21K5/04;H01J37/153;H01J37/305;H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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