FORMATION OF THIN FILM,申请号JP19910301155-传众专利搜索

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发明名称	FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号	JPH05112863(A)	申请公布日期	1993.05.07
申请号	JP19910301155	申请日期	1991.10.21
申请人	NIPPON STEEL CORP	发明人	SUGIYAMA KENJI;HAYASHI KAZUNORI
分类号	C23C14/06;C23C14/22	主分类号	C23C14/06
代理机构		代理人
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