发明名称 SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH05114743(A) 申请公布日期 1993.05.07
申请号 JP19910084532 申请日期 1991.03.26
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 ISHIKIRIYAMA MAMORU
分类号 G01L9/04;G01L9/00;H01L21/76;H01L21/761;H01L29/84 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
主权项
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