发明名称 MANUFACTURE OF SOI STRUCTURE
摘要
申请公布号 JPH05114563(A) 申请公布日期 1993.05.07
申请号 JP19910275742 申请日期 1991.10.23
申请人 ROHM CO LTD 发明人 NAKAMURA TOMOHITO
分类号 H01L21/20;H01L21/336;H01L27/00;H01L27/08;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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