发明名称 PHOTOIRRADIATION HEATING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH05114570(A) 申请公布日期 1993.05.07
申请号 JP19910284034 申请日期 1991.10.03
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 NISHIHARA HIDEO;FUKUTOMI YOSHIMITSU
分类号 H01L21/26;H01L21/324 主分类号 H01L21/26
代理机构 代理人
主权项
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