发明名称 FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH05114581(A) 申请公布日期 1993.05.07
申请号 JP19910301028 申请日期 1991.10.21
申请人 SONY CORP 发明人 SATO JUNICHI
分类号 C23C14/40;C23C16/08;C23C16/30;C23C16/40;C23C16/511;C23C16/54;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/768;H01L23/522 主分类号 C23C14/40
代理机构 代理人
主权项
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