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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES STRUKTURIERTEN DUENNFILM-WIDERSTANDSSCHICHTSYSTEMS SOWIE SCHALTUNGSANORDNUNG MIT EINEM INSBESONDERE NACH DIESEM VERFAHREN HERGESTELLTEN DUENNFILM-WIDERSTANDSSCHICHTSYSTEM
摘要
申请公布号 DE4136198(A1) 申请公布日期 1993.05.06
申请号 DE19914136198 申请日期 1991.11.02
申请人 DEUTSCHE AEROSPACE AG, 8000 MUENCHEN, DE 发明人 FEURER, ERNST, DR., 7906 BLAUSTEIN, DE;HOLL, BRUNO, DR., 7900 ULM, DE
分类号 H01C7/00;H01C17/075;H05K1/16;H05K3/10;H05K3/38 主分类号 H01C7/00
代理机构 代理人
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