发明名称 LIFT-OFF VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON LEITERBAHNEN AUF EINEM SUBSTRAT.
摘要
申请公布号 DE3782389(T2) 申请公布日期 1993.05.06
申请号 DE19873782389T 申请日期 1987.08.20
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 WATANABE, HIROSHI, MITO-SHI, JP;MIURA, OSAMU;MIYAZAKI, KUNIO;NUMATA, SHUNICHI, HITACHI-SHI, JP;OTSUKA, KANJI, HIGASHIYAMATO-SHI, JP
分类号 H01L21/3205;H01L21/027;H01L21/306;H01L21/312;H05K3/02;H05K3/04;H05K3/06;H05K3/46;(IPC1-7):H01L21/312;H01L21/00;H01L21/90 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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