发明名称 |
VERTICAL TRANSISTOR CAPACITOR MEMORY CELL STRUCTURE AND FABRICATION METHOD THEREFOR |
摘要 |
|
申请公布号 |
EP0300157(B1) |
申请公布日期 |
1993.05.05 |
申请号 |
EP19880108135 |
申请日期 |
1988.05.20 |
申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
HWANG, WEI;LU, NICKY C. |
分类号 |
H01L27/04;H01L21/334;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/10;H01L27/108;H01L29/94 |
主分类号 |
H01L27/04 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|