MICRO-MECHANICAL ROTATIONAL-SPEED SENSOR.

摘要

Il est proposé un détecteur de rotation, doté d'un élément détecteur structuré à partir d'une tranche de silicium monocristalline et présentant au moins un oscillateur, de préférence au moins une paire d'oscillateurs qui sont reliés à un cadre fixe, au moyen d'une ou de plusieurs barrettes. Les oscillateurs sont capables de produire des oscillations suivant deux directions perpendiculaires entre elles; l'élément détecteur est équipé de moyens d'excitation des oscillateurs dans une première direction d'oscillation et de moyens de détection des déviations des oscillateurs dans la seconde direction d'oscillation perpendiculaire à la première. En outre, l'élément détecteur présente au moins un revêtement sur lequel est appliquée une électrode fixe se présentant sous la forme d'une électrode d'un condensateur à plaques. Chaque oscillateur forme l'autre partie d'électrode de ce condensateur à plaques. Les barrettes de suspension servent d'amenées de courant pour l'excitation, ainsi que de moyens d'amenée ou d'envoi des signaux pour les oscillateurs.