发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR DETECTING DEFORMATIONS OF LEADS OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 US5208463(A) 申请公布日期 1993.05.04
申请号 US19910740605 申请日期 1991.08.05
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 HONMA, MAKOTO;HIRAMOTO, SOTOZI;HATA, SEIJI;TOMITA, MASAMICHI;ISHIBASHI, AKIRA
分类号 G01B11/00;G01B11/24;G01N21/956;H01L21/66;H01L23/50;H05K13/08 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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