发明名称 LEAD INSPECTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05109848(A) 申请公布日期 1993.04.30
申请号 JP19910265785 申请日期 1991.10.15
申请人 NEC CORP 发明人 KINOSHITA MASAO
分类号 G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956;H01L21/66 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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