发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05109707(A) 申请公布日期 1993.04.30
申请号 JP19910266653 申请日期 1991.10.16
申请人 NEC CORP 发明人 DEN YASUHIDE
分类号 H01L21/316;H01L21/318 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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