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发明名称 DRY ETCHING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH05109665(A) 申请公布日期 1993.04.30
申请号 JP19910266053 申请日期 1991.10.15
申请人 SHARP CORP 发明人 KIMURA DAISUKE
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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