CHARGE-UP PREVENTION DEVICE OF ION-IMPLANTATION MACHINE,申请号JP19910272538-传众专利搜索

发明名称	CHARGE-UP PREVENTION DEVICE OF ION-IMPLANTATION MACHINE
摘要
申请公布号	JPH05109642(A)	申请公布日期	1993.04.30
申请号	JP19910272538	申请日期	1991.10.21
申请人	MATSUSHITA ELECTRON CORP	发明人	NAMURA TAKASHI
分类号	H01J37/317;H01L21/265	主分类号	H01J37/317
代理机构		代理人
主权项
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