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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05109593(A) 申请公布日期 1993.04.30
申请号 JP19910264173 申请日期 1991.10.14
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 FURUHATA HIROAKI
分类号 H01L21/02;H01L29/861 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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