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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05109998(A) 申请公布日期 1993.04.30
申请号 JP19910264215 申请日期 1991.10.14
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 NIHEI HIROYUKI
分类号 H01L21/822;H01L21/8222;H01L21/8234;H01L21/8248;H01L27/04;H01L27/06;H01L27/088 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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