| 发明名称 |
CHARGED PARTICLE BEAM SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05109382(A) |
申请公布日期 |
1993.04.30 |
| 申请号 |
JP19920086914 |
申请日期 |
1992.04.08 |
| 申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> |
发明人 |
JIYON HAWAADO KERAA;DENISU KEISU KARUTASU |
| 分类号 |
H01J37/141;H01J37/05;H01J37/317;H01L21/265;H01L21/268 |
主分类号 |
H01J37/141 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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