发明名称 PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION
摘要
申请公布号 JPH05107752(A) 申请公布日期 1993.04.30
申请号 JP19910271560 申请日期 1991.10.19
申请人 CANON INC 发明人 OKUMA NORIO;MIYAGAWA MASASHI
分类号 G03F7/004;G03F7/008;G03F7/027;G03F7/038;H01L21/027;H05K3/06 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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