发明名称 DEVICE FOR SPUTTERING OF TWO-COMPONENT MIXTURES
摘要
申请公布号 RU1812288(C) 申请公布日期 1993.04.30
申请号 SU19914923531 申请日期 1991.04.01
申请人 ZAPOROZHSKIJ INDUSTRIALNYJ INSTITUT 发明人 GLUSHKO VASILIJ T;STARODUBTSEV SERGEJ V;ARTSIMOVICH PETR M;GALUSHKO ALEKSANDR M;TKALICH ALEKSANDR N;NAUFAL NAAMAN SAID;MARKOVA LARISA V;GALUSHKO VALENTINA A
分类号 E04F21/02;(IPC1-7):E04F21/02 主分类号 E04F21/02
代理机构 代理人
主权项
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