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发明名称 ETCHING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH05109666(A) 申请公布日期 1993.04.30
申请号 JP19910272386 申请日期 1991.10.21
申请人 SHIBAURA ENG WORKS CO LTD 发明人 TOKURA TSUNEMASA
分类号 C23C16/50;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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