发明名称 MANUFACTURE OF SOI SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH05109678(A) 申请公布日期 1993.04.30
申请号 JP19910297629 申请日期 1991.10.18
申请人 SONY CORP 发明人 SATO HIROSHI;IZAWA NOBUYUKI
分类号 H01L21/02;H01L21/304;H01L27/12 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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