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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SOI SUBSTRATE
摘要
申请公布号
JPH05109678(A)
申请公布日期
1993.04.30
申请号
JP19910297629
申请日期
1991.10.18
申请人
SONY CORP
发明人
SATO HIROSHI;IZAWA NOBUYUKI
分类号
H01L21/02;H01L21/304;H01L27/12
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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