发明名称 STRUCTURE, METHOD AND EQUIPMENT FOR MOUNTING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05109821(A) 申请公布日期 1993.04.30
申请号 JP19910267485 申请日期 1991.10.16
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 SATO HIDEKAZU
分类号 H01L21/28;H01L21/56;H01L21/60;H01L23/02 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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