发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH05109774(A) 申请公布日期 1993.04.30
申请号 JP19910271500 申请日期 1991.10.18
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ASANO YUJI
分类号 H01L27/04;H01L21/331;H01L21/336;H01L21/822;H01L27/12;H01L29/73;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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