发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05109688(A) 申请公布日期 1993.04.30
申请号 JP19910271453 申请日期 1991.10.18
申请人 FUJITSU LTD;FUJITSU TOHOKU ELECTRON:KK 发明人 WATABE MASAYUKI;MOURI TSURUMI;OTA RYUSUKE
分类号 H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
地址